在三星官宣了5nm EUV工艺,并预告了6nm工艺后,台积电也官宣了旗下的6nm工艺。
按照台积电的说法,6nm EUV工艺是在已有7nm工艺的基础上大幅度增强,号称可提供极具竞争力的高性价比,而且能加速产品研发、量产、上市速度。
相比7nm工艺来说,台积电的6nm可以将晶体管密度提升18%,同时设计规则完全兼容第一代7nm,便于升级迁移,降低成本。
台积电称,6nm工艺预计会在2020年第一季度试产。
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